Abril 5, 2025
Fábrica chinesa registra nova patente de ferramenta EUV para chips
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Técnicos trabalham em maquinário EUV da ASML
Créditos: ASML

Os processos mais atuais de litografia para semicondutores envolvem o uso de ferramentas EUV na fabricação deles, que a China está impedida de aproveitar devido às sanções que sofre de outros países. Assim, uma de suas principais companhias busca sanar o problema criando solução própria, como indica um registro recente de patente.

A maior – e única – fornecedora de maquinário para litografia EUV no mundo é a ASML. Apesar de ter clientes na China, a empresa holandesa nunca enviou uma ferramenta dessas para lá, e provavelmente nem vai tão cedo. Isso porque recentemente a companhia sofreu mais restrições em sua terra natal, Holanda, sob pressão dos EUA para barrar o desenvolvimento chinês de tecnologias.

Representação de máquina para EUV da ASML.Representação de máquina para EUV da ASML.
Fonte: ASML

Dessa forma, a Shangai Microelectronics Equipment (SMEE), que lidera no fornecimento local de máquinas para fabricação de semicondutores, registrou uma patente própria para EUV. A tecnologia é complexa e envolve o uso de plasma produzido por laser (LPP) para criar radiação ultravioleta extrema (EUV) e trabalhar com essa luz para a litografia no silício.

Imagem representativa da luz EUV.Imagem representativa da luz EUV.
Fonte: Intel

Enquanto as máquinas atuais da SMEE focam em processos “maduros” – como 90nm, 110nm e 280nm – EUV é usado em processos mais atuais, de 7nm a 3nm. Segundo o Tom’s Hardware, a SMIC atualmente usa “manobras” com máquinas DUV para fabricar chips em 7nm, mas que o ciclo de produção dessa forma é menos eficiente. Devido às sanções sofridas pela China, entretanto, a SMIC e sua cliente Huawei não têm escolha, a não ser usar o método até para suas gerações futuras de componentes.

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Patente de EUV pode ser promissora, se resultar em algo

Como se sabe, o registro de patentes que nunca chegam a se tornar um produto finalizado e útil não é incomum. Na verdade, o próprio Tom’s Hardware relembra que a Huawei mesmo também tem uma patente para um sistema baseado em EUV, registrada na China em 2022.

Mais sobre semicondutores:

Trata-se de uma tecnologia extremamente complexa, tanto que atualmente apenas a ASML é considerada uma fornecedora confiável. Para criar sua própria ferramenta EUV – e ajudar na luta chinesa para se tornar autossuficiente – a SMEE vai ter que desenvolver tudo localmente. Além disso, nunca se sabe quando serão impostas mais sanções ainda para atrapalhar desenvolvimentos futuros.

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